ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です
・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。
・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。
・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。
・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。
・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。
・工場HOSTとの通信対応も可能です。
基本情報ウェーハインスペクション装置 (MWL-01型)
・ミクロ検査結果は、ファイルに保存します。
・顕微鏡搭載のカメラ画像をPCに保存できます。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | MWL-01 |
| 用途／実績例 | 半導体業界よりご注文を頂いております。 |
取扱企業ウェーハインスペクション装置 (MWL-01型)
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