メタルプラズマコーター「AT-ET」【導電性薄膜を作製！】エーティーエー

省スペース&低コストで導電性薄膜を作製！電子顕微鏡観察時に金属被膜のコーティングを行う際に最適です！

メタルプラズマコーター「AT-ET」は、電子顕微鏡観察時における試料の帯電を防止するためのAu（金）、Ag（銀）、Pt（白金）等の導電性薄膜を作製する装置です。ロータリーポンプを本体に内蔵したことで、省スペースでの設置が可能となりました。真空度の表示は読み易いデジタル表示で、ボタン1つで排気～コーティング～終了（標準処理時間約5分）までを自動で行える簡単操作のコンパクトなメタル薄膜作製専用コーターです。

【特長】
■ロータリーポンプを本体に内蔵
■コンパクトな卓上サイズ
■操作が簡単
■見やすいデジタル表示

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

基本情報メタルプラズマコーター「AT-ET」【導電性薄膜を作製！】

【仕様】
○スパッタリング方式
　・DCマグネトロンスパッタリング
　・放電電圧：DC 1kV max
　・放電電流：DC 10、20、30、40mAから選択
○ターゲット(別売)：φ30、0.1mm厚のAu、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2) 及びφ30、0.5mm厚のInが使用可能
○使用ガス：Air、Ar（ArはAT-ETAのみ）
○到達真空圧：2～10Pa以下
○チャンバー内寸：φ87mm
○試料ホルダー：φ70mm
○真空排気：ロータリーポンプ(10L/min)※内蔵
○寸法：本体 250W × 370D × 325H
○重量：本体約15kg
○電源：AC 100V 3A

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