高耐圧ピエゾ駆動パルスバルブ『L.TEX8900シリーズ』エルテックス

高速応答性を実現！高圧のまま気体状にジェット噴射が可能なパルスバルブ

『L.TEX8900シリーズ』は、超臨界状態の流体を所定の間隔で高圧のまま気体状にジェット噴射が可能なパルスバルブです。
従来のものは圧力が10MPa程度の噴射が限界でしたが、駆動源に高性能圧電素子（ピエゾ素子）を採用したことにより、30MPaまでの高圧下での安定した噴射が可能となりました。

【特徴】
○バルブ開閉時間100μs以下の高速応答性を実現
○お客様のご要望に対応したカスタムメイドが可能
→バルブヘッド部の温調(～100℃)や真空チャンバーへの取り付けなど

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関連リンク - http://l-tex.net/piezo_drive/

基本情報高耐圧ピエゾ駆動パルスバルブ『L.TEX8900シリーズ』

【仕様（参考　L.TEX8902型）】
○最大使用圧力：30MPa
○最高使用温度：100℃
○接ガス部材質
→SUS316、ジルコニアセラミックス、ポリイミド樹脂、
　フッ素樹脂、PEEK
○配管接続口径：φ1/16　SUS316チューブ
○バルブ駆動方式：ピエゾ素子による高速応答型アクチュエータ
○最大ストローク：132μm
○応答速度：0.08ms（ΔV=100V時）
○発生力
→PUSH時：800N
→PULL時：300N
○大きさ：φ35×208L
　※ピエゾアクチュエータ部含む・取付け用フランジ含まず

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