Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ日立Astemo＆ナガノ

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

CVD、PVD、拡散、エッチングなど様々なアプリケーションに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラ（MFC）とデジタルマスフローメーター（MFM）は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。
新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた信頼性と卓越した応答性、正確性、再現性を誇り、汎用性に富んだ、お客様が重点を置く価値や機能に合ったシングルガス対応ならびにマルチガス・マルチレンジ対応MFCを取り揃えています。

基本情報Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

特長
・マルチガス・マルチレンジ
・高速応答性
・100％メタルシール・高純度設計
・フィールドでプログラム可能＊
・再校正をしなくても様々なガス選択が可能＊
・DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応
・多彩な警告・診断機能
・RoHS適合
＊マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応。

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型番・ブランド名	Aera
用途／実績例	半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションなど

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カタログAera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

取扱企業Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

日立Astemo＆ナガノ株式会社

●日立オートモティブシステムズグループ製品の販売・鉄道車両用オイルダンパー　・地震振動対策／産業用オイルダンパー・減震くんスマート・ルーツ流量計、ルーツガスメータ・緊急遮断弁・ガバナ・ＰＦＡ超音波渦流量計・アツギプレス（小型油圧プレス） ●長野計器グループ製品の販売・圧力計、デジタル圧力計、圧力センサ・差圧計、差圧センサ、液面計・温度計・流量計・スーパー電空レギュレータ・エアリークテスタ・リーク試験装置 ●日立グループ製品の販売・マスフローコントローラ・オイルフリーベビコン ●その他産業機器の販売・電気集塵機・酸洗管、ＢＡ管、ＥＰ管・継手、バルブ・サニタリ配管材・圧力調整器・液化ガス残量計 ●各種装置の販売・リーク試験装置・電気集塵装置・半導体材料ガス供給装置・半導体液体材料気化装置・計装盤・制御盤