レンタル用小型スリットコーターブルーオーシャンテクノロジー

実験・開発用スリットコーター・基板サイズ：200mm□ ・レンタル期間：6ヶ月（MAX） ※薄膜から高粘度まで

レンタル専用スリットコーター！

受託加工（成膜・塗工）も対応可能
対応基板サイズ（MAX）：200mm□×0.4～1.1mmt
対象ワーク：ガラス基板・フィルム・シート
貸出期間：１ヶ月～6ヶ月間

【装置特徴】
・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt
・ステージサイズ：230×230mm
・膜厚：0.5～100μm
・薬液系統：1系統
・粘度：数cps～10,000cps
・ノズル上下駆動：サーボモーター
・テーブル駆動：リニアモーター

【主要用途・実例】
・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品
・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶

基本情報レンタル用小型スリットコーター

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用途／実績例	レンタル専用スリットコーター！受託加工（成膜・塗工）も対応可能対応基板サイズ（MAX）：200mm□×0.4～1.1mmt 対象ワーク：ガラス基板・フィルム・シート貸出期間：１ヶ月～6ヶ月間【装置特徴】・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター・テーブル駆動：リニアモーター【主要用途・実例】・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶