『KVD-OLED Evo.6』は、有機EL材料の塗布材料を目的とした
OPV(有機薄膜太陽電池)用蒸着装置です。
有機材料の塗布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で
行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬送し、電極を蒸着させる
一貫した装置となります。
グローブボックス（MBRAUN社製Labmaster）と接続でき、
ロードロック室間は手動の搬送機構で操作可能。
排気操作は前面のタッチパネル(PLC)により操作できます。
【特長】
■排気シーケンスはPLCにて制御可能
■金属の蒸着はボート式とルツボ式を標準搭載
■膜厚計は3センサーを標準搭載
■金属蒸着源はボート式とルツボ式を標準搭載
■蒸着室はメンテナンスが容易な防着板を標準搭載
詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』
【仕様】
■基板サイズ(インチ)：4(MAX)
■真空排気系(主排気)：クライオポンプ(8インチ 1700L/s：N2)
■真空排気系(補助排気)：ドライポンプ(500L/s：N2)
■金属蒸着源(ボート式)：3
■金属蒸着源(ルツボ式)：1
■有機蒸着源(ルツボ式)：4
■ヒーター機構(L室/D室)：各1
■グローブボックス接続：各社対応可能(※本装置はMBRAUN社製)
■自動処理：可能
■自動搬送：可能
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■有機材料の塗布 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログOPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』
取扱企業OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』
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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品（フランジ・継手類、他） 《ＰＶＤ／ＣＶＤ装置》 ◆有機ＥＬ材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機ＴＦＴ開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ） （化合物半導体・窒化物・酸化物） ◆有機金属気相成長装置（ＣＶＤ） 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置（ＦＩＭ） ◆電子エネルギー分析システム（ＣＭＡ） ◆ＴＥＭホルダー（加熱／低温） ◆ＵＨＶレーザー顕微鏡装置 ◆３次元アトムプローブ装置（３ＤＡＰ）
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