乾式散布装置「微粒子対応　分散・散布装置」テクニカルフィット

数μmから数百nmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、乾式散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現！

液晶ディスプレイにおけるスペーサ散布工程のドライ散布技術を発展させた、ナノ粒子にも対応可能な粒子の分散・散布装置です。

散布時の帯電量を元にしたフィードバック制御により、散布量の制御を行います。ノズルは固定式のマルチプレクサーノズルを使用し、ノズルを動かすことなく、エアーの切り替えのみで各方向へ均一に粒子を散布します。また、壁面への高電圧を印加することで、粒子の壁面付着を抑え、粒子の利用効率を改善するとともに、大きなサイズのワークにおいても均一な分散性能を確保します。
100mm×100mm〜300mm✕300mm程度のワークサイズに対応した、研究開発・試作用の卓上散布機です。
（1500mm✕1500mm等の大型ガラスへの対応、インライン向けの量産装置も製造可能）

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基本情報乾式散布装置「微粒子対応　分散・散布装置」

卓上型　乾式散布装置　δ−1（デルタワン）

基本構成

１　散布チャンバー
　　　チャンバー　　　✕　1式
　　　高圧ユニット　　✕　1式（※オプション）
　　　　調整範囲　±1〜10kv

２　秤量ユニット
　　　秤量器　　　　　✕　1式
　　　ホッパー　　　　✕　1式（粒子収容器）
　　　エアー機器　　　✕　1式
　　　操作パネル　　　✕　1式
　　　制御部　　　　　✕　1式
　　　　コントロールボード内蔵

３　粒子圧送用SUS配管　（増幅部・帯電センサー付）

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用途／実績例	【用途】 ■液晶ディスプレイ材料　試作ライン ■各種粒子の分散・散布（100nm〜） ■アルミナ・シリカ・各粒子の散布 ■粒子の積層コーティング ■粒子の定量散布 ■建築用液晶ガラス向け製造ライン