真空対応位置決めテーブル＜VT＞メガトラスト

真空対応位置決めテーブル＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、
高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、
的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。

基本情報真空対応位置決めテーブル＜VT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。

【特長】
　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製）
　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製）
　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可
　◇汎用型のステージとの互換性が高く、大気→真空仕様への移行が
　　スムーズです。
　◇真空環境下以外でも、高温環境や放出ガスを嫌う環境などで使用
　　にもお薦めです。

[仕様]
　外形サイズ：　Ｗ１８８×Ｌ１８８×Ｈ３８［ｍｍ］
　ストローク：　２５［ｍｍ］　ＸＹ軸共

⇒詳細はダウンロードからお問い合せ下さい。
⇒真空対応品に関するご相談、見積などは下記コメントから
　お問い合せください。

価格情報	-
価格帯	10万円 ~ 50万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	ＶＴ１２５ＶＳＴ−ＸＹ
用途／実績例	◆詳細は資料請求またはダウンロードからお問い合せください◆