【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ!
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。
自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を小さくできます。
(*1)フィードバックステージコントローラFC-414またはFC-114との組み合わせ
基本情報サブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY
最小分解能:50nm or 100nm
最大移動速度:20mm/sec(FC-414またはFC-114使用時)
ストローク:200mm
対応コントローラ:FC-414またはFC-114
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | FS-3200PX / FS-3200PXY |
用途/実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例)MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
カタログサブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY
取扱企業サブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY
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