【真空対応】リニアエンコーダ内蔵で10nm分解能のZ軸用位置決めステージ
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。
10nm分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を用意。
アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。
テーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
基本情報真空対応10nmフィードバックステージ 昇降タイプ
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ:120mm×120mm
○テーブル移動量:5mm or 10mm
○繰返し位置決め精度:±20nm
○対応真空度:10^-4Pa
○最小分解能:10nm
○最大移動速度:2mm/sec
○対応コントローラ:FC-511
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | FS-1005PZ(V) / FS-1010PZ(V) |
用途/実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例)MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
カタログ真空対応10nmフィードバックステージ 昇降タイプ
取扱企業真空対応10nmフィードバックステージ 昇降タイプ
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