【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵の微小回転ステージ
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。
0.00001°分解能でストロークは±4°
アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。
回転方向の調整用に適しています。
基本情報真空対応10nmフィードバックステージ 微小回転タイプ
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ:120mm×120mm
○テーブル移動量:±4°
○繰返し位置決め精度:±0.00002°
○対応真空度:10^-4Pa
○最小分解能:0.00001°
○最大移動速度:1°/sec
○対応コントローラ:FC-511
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | FS-1120Pθ(V) |
用途/実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例)MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
カタログ真空対応10nmフィードバックステージ 微小回転タイプ
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