有限会社ファーストダック 研磨機定盤下チラー内洗浄 水質分析
- 最終更新日:2020-02-13 11:10:09.0
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有限会社ファーストダックは、研磨機・CMPマシンに付着したスラリー(研磨材)の洗浄剤、洗浄方法を提供している会社です。
当社が行った、研磨機定盤下チラー内洗浄の水質分析結果をご紹介します。
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【水質分析】
■金属含有(ppm):循環水/洗浄2hrs/洗浄4hrs/洗浄6hrs
・Ca:11.69/32.19/66.38/77.33
・Mg:2.22/3.66/4.05/4.11
・Mn:≦0.1/0.36/0.41/0.50
・Fe:≦0.1/18.08/18.23/18.35
・Cu:≦0.1/31.78/33.86/36.41
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基本情報研磨機定盤下チラー内洗浄 水質分析
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