安定な高密度プ ラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成するマイクロ波ダイヤモンド成膜装置！
『MDD-2016』は、高出力（最大5kW）のマイクロ波電源および自動整合器（4Eチューナ） により、安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できる装置です。独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制御できます。マイクロ波電源はマグネトロン発振（ 連続波、パルス波、高安定スペクトル）およびソリッドステート発振など、当社電源ラインアップからお選び頂けます。
【特長】
■高出力（最大5kW）
■高密度プラズマを発生
■高品質ダイヤモンドを高速合成
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報マイクロ波ダイヤモンド成膜装置『MDD-2016』
【仕様】
■MW電源：2450MHz, 最大出力5kW (日本高周波製)
■整合方法：4Eチューナによる自動整合 (日本高周波製)
■圧力制御：自動圧力制御
■反応ガス：メタン, 水素, 酸素 (増設可能)
■形状：1500mm (W) × 900mm (D) × 2000mm (H)
■成膜範囲：直径2インチ
■成膜速度：20μm/h 工具グレード, 4μm/h 光学グレード
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログマイクロ波ダイヤモンド成膜装置『MDD-2016』
取扱企業マイクロ波ダイヤモンド成膜装置『MDD-2016』
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