『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。
駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。
内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な
ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを
有効に使用できます。
また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、
更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。
【特長】
■マイクロメーターの移動量は±12.5mm
■超高真空領域での使用が可能
■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意
■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に
■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報XYステージ ICF152タイプ『KXY-152』
【仕様】
■X軸移動量：±12.5mm
■Y軸移動量：±12.5mm
■X軸位置決め精度：2µm
■Y軸位置決め精度：2µm
■許容リーク量：1.3×10^-10Pa・m³/sec
■許容加熱温度：≦200℃
■接続フランジ 上部：ICF152-FT
■接続フランジ 下部：ICF152-FH
■有効内径：Φ100mm
■面間距離：215mm（変更可能）
■納期：2ヶ月
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログXYステージ ICF152タイプ『KXY-152』
取扱企業XYステージ ICF152タイプ『KXY-152』
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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品（フランジ・継手類、他） 《ＰＶＤ／ＣＶＤ装置》 ◆有機ＥＬ材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機ＴＦＴ開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ） （化合物半導体・窒化物・酸化物） ◆有機金属気相成長装置（ＣＶＤ） 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置（ＦＩＭ） ◆電子エネルギー分析システム（ＣＭＡ） ◆ＴＥＭホルダー（加熱／低温） ◆ＵＨＶレーザー顕微鏡装置 ◆３次元アトムプローブ装置（３ＤＡＰ）
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