MEMS向けゲッター「PageWafer / PageLid」サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー

デバイスの長期安定性を向上！ MEMS真空パッケージ向けにデザインされた薄膜ゲッター蒸着加工

MEMS向けゲッターフィルムはMEMSパッケージに特化して開発された製品です。
ウエハレベルパッケージ向け製品（PageWafer）とディスクリートパッケージ向け製品（PageLid, PageSheet）の両方を用意しており、いずれもパッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。
現在では、MEMS向けゲッターは、軍事･防衛関連/自動車/工業用途/民生用途向けのハーメチックシールされた様々なMEMS製品に一般的に使用されており、パッケージ内の真空を維持する技術として広く受け入れられています。

【特徴】
○ 高真空パッケージに対応
○ 長期信頼性の確保
○ 活性ガスに対する高い吸着性能
○ ほぼ全ての封止プロセスに適応した活性化温度
○ 二種類のパターニング方式に対応可（メタルマスク/リフトオフ）パーティクルフリー

関連リンク - https://www.saesgetters.com/jp/mems%E5%90%91%E3%81…

基本情報 MEMS向けゲッター「PageWafer / PageLid」

【ゲッター材の基本情報】
密閉封止した装置の中の真空環境を改善し、その状態を保持するのに、ゲッター材料が極めて重要な役割を果たします。
ゲッター材料は、真空中の化学反応により全ての活性ガス（O2, H2O, CO, CO2, N2等）を吸着することが可能です。
用途と生産工程に合わせて、異なるゲッター金属合金と形状が開発されています。　
また、お客様とのコラボレーションにより、様々なゲッターの技術的要求に対応しています。

例えば、真空パッケージングの委託・試作業務や、超音波顕微鏡による封止精度試験、残留ガス分析試験、アウトガス試験やリーク率測定試験などのサービスも提供しています。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ● 非冷却型IRセンサ ● MEMSジャイロ ● 振動子 ● タイミングデバイス ● 高性能の圧力センサ

お問い合わせ

取扱企業 MEMS向けゲッター「PageWafer / PageLid」

サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー日本支店

【主な製品】 ○ ゲッター (真空チャンバー、封じ切りデバイスにおけるガス吸着剤) ○ 真空ポンプ (ゲッターポンプ) ○ 機能性高分子材料 (乾燥剤) ○ ディスペンサー (水銀、アルカリ金属の蒸発源) ○ 形状記憶合金 (SMA) ○ カソードなど特殊製品 (スペクトラマット社にて) 【多様な市場、用途例】 ●一般消費者向け製品、家庭用電化製品 ● ディスプレイ ● 再生可能エネルギー ● 断熱 ● 医療用機器 ● 半導体、センサー ● 光源、照明 ● 科学装置と研究施設向け超高真空システム ● 自動車関連 ● 電気通信産業と航空電子機器 ● アクチュエーター (形状記憶合金を使った)