高いメンテナンス性！エッチング均一性・パターン精度が向上した、エッチング装置
東京化工機の『エミネント2』は、5カ国180装置納入実績を誇る
エッチング装置「エミネント」の後継機です。
スプレー形状、流量改善等による基板上下両面の均一性が、
35％以上改善されました。
また、新型ホイールを採用し、コア材40μm基板の量産搬送対応を確立。
メンテナンス性も大幅に向上しました。
【特長】
■エッチング均一性向上
■薄物搬送性向上
■メンテナンス性の大幅向上
■パターン精度向上
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基本情報エミネントシリーズ第三世代エッチング装置『エミネント2』
【「エミネント」からの継承要素】
■オシレーション機構の撤廃
■液溜りを無くす、斜めスプレー方式
■液の整流化に貢献する液流れガイド方式
■エッチングムラが解消される偶数スプレー管
■簡単メカニズム
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カタログエミネントシリーズ第三世代エッチング装置『エミネント2』
取扱企業エミネントシリーズ第三世代エッチング装置『エミネント2』
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