株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン 円筒ITOターゲット
- 最終更新日:2017-09-04 15:12:02.0
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円筒ITOターゲットのパイオニア、ユミコア社製円筒形ITOスパッタリングターゲットです。
特徴:
-. 組成:90wt% In2O3 ー10wt% SnO2はもちろん、SnO2の組成比を1wt%から20wt%まで柔軟に対応致します。
-. 最長670mmまで分割無しで製作可能です。
-. 平面形状、ディスク形状でのご提供も可能です。
基本情報円筒ITOターゲット
組成: In2O3―SnO2(1-20wt%)
密度: 7.10g/cc以上
純度: 99.99%以上
製法: Ti製バッキングチューブへのインジウムボンディング
バッキングチューブサイズ(mm): 内径125 x 外径133 x 長さ200-4000
ターゲットサイズ: 内径135mm
ターゲット厚み: 6-10mm
標準分割長: 200mm (最長分割:670mm)
価格情報 | 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
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納期 |
お問い合わせください
※数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
用途/実績例 | -.タッチパネル向けスパッタ成膜 -.ディスプレイ向けスパッタ成膜 -.その他光学用途向けスパッタ成膜 |
取扱企業円筒ITOターゲット
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