レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』コアシステム

広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く除震台・防振装置が不要です！

『CSM＆CSYSシリーズ』は、広い測定範囲を超高感度で速く測定が可能な
レーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表示します。

【特長】
■レーザ走査式非接触で表面形状測定データ表示
■高い検出感度で広い測定範囲を、速く測定してデジタル画像表示
■シンプルな光学検出原理と構造のために、信頼性が高い
■極めて振動に強く除震台・防振装置不要
■インライン工程内の全数非破壊検査、自動化対応可能

※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

基本情報レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

【ラインアップ】
■CSYS 12-450
■CSYS 12-300
■CSYS 12-200
■CSYS 12-100

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【測定対象ワーク】 ■半導体ウエハ、ハードディスク、マスク、FPDなどの鏡面 ■研削加工表面、薄膜スパッタ、機能性フイルムなどの、　表面形状・粗さ（Ra）・キズ欠陥・汚れ等の表面検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

株式会社コアシステム

以下に関わる技術開発・製造・販売・メンテナンスサービス・回収リサイクル業務 ■レーザ走査表面形状検査機　（半導体ウエハ、ハードディスク、液晶、フイルム、コピードラム、マスクなど） ■ウエハ精密洗浄装置 ■CO2ドライ洗浄装置 ■液晶パネル自動洗浄乾燥装置 ■液晶キャリアカセット自動洗浄装置 ■分散型電源装置用系統連系単独運転検出インバータの新方式技術開発商品化