ローコスト、省スペースに高速な外観検査を実現！AI搭載のウェハ外観検査装置
『Cosmo Finder』は、顕微鏡を利用したウェハの外観検査を画像処理を
使って高速・高精度に実現する装置です。
画像処理ソフト開発30年以上の経験から多くのお客様の要望を取り入れ、
様々な欠陥の認識に対応することが可能です。今まで検出が困難だった
異物やキズなども威力を発揮します。
また、本体内部に光学ユニット、駆動ユニット、画像処理ユニット、
制御ユニットをビルトインし、省スペースながらハイパフォーマンスを実現。
製造工程からR&D部門まであらゆるシーンで利用していただくことができます。
【特長】
■省スペース設計
■画像解析30年以上の経験が高精度な検査を実現
■AIによる分類技術が課題解決をサポート
■様々なオプション対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ウェハ外観検査装置『Cosmo Finder』
【仕様】
■測定対象ウェハ：ベア、パターン付、膜付
■ウェハサイズ：2インチ～8インチ
■検査項目
・異物、クラック、サイズ（OK,NG判定）
・輝度ムラ、断線、パターン認識（OK,NG判定）
・寸法（穴・長短径）
■検出方法
・顕微鏡画像処理方式（高速パターンマッチング、AI分類、輝度抽出）
■検出時間：約10min/wafer（6インチウェハ、分解能0.69umの時）
■検出感度：約2um以上
■カメラ：2/3型500万画素CMOSカメラ
■光源：白色LED
■オートフォーカス：レーザー三角測距式、合焦時間100msec以下
■装置寸法：W635 H1355 D998（mm）
■装置重量：約130kg
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログウェハ外観検査装置『Cosmo Finder』
取扱企業ウェハ外観検査装置『Cosmo Finder』
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【事業内容】 ■画像解析ソリューション ■パッケージシステム ■画像解析システムの受託開発
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