裏面研削後の薄ウエハの反り軽減に!テープ貼り付け後外周カットが可能な自動装置
『フルオートBGテープラミネーター』は、表面保護を目的とした
バックグラインド用テープを貼付け後、外周カットが可能な自動装置です。
貼付けには独自のローラー構造を採用することで、
テープへのテンションがほぼ無い状態での貼付けが実現しました。
裏面研削後の薄ウエハの反り軽減に威力を発揮します。
【特長】
■テンションコントロールしながら外周カットが可能
■裏面研削後の薄ウエハの反り軽減に
■低テンション貼付け
■高精度外周カット
■ハイバンプテープ対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報テープラミネーター『フルオートBGテープラミネーター』
【その他の特長】
■300mm/200mm ウエハ対応
■静電対策
■SECS通信対応(オプション)
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログテープラミネーター『フルオートBGテープラミネーター』
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