歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置
『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する
微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの
歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。
また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、
レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値等の詳細データを
ユーザーに提供、プロセスの安定化に寄与します。
【特長】
■微小凹凸欠陥(チャック痕・放電痕・打痕・接触痕等)を高感度・高速に検出
■裏面全面検査(EE=1mm)
■画像処理とマスクによる候補欠陥抽出
■広いダイナミックレンジと高い処理能力
■共焦点顕微鏡による自動欠陥レビューと3D計測
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報自動検査装置『BMWシリーズ』
【仕様】
■装置寸法：W1,800×D2,548×H2,250mm (突起部除く)
■重量：約2,650kg
■電源：AC200V±5% 単相 40A 50/60Hz、AC200V±5% 三相 20A 50/60Hz
■ドライエアー：圧力 600Kpa以上、流量 20L/min以上
■真空：圧力 -80Kpa以上、流量 60L/min以上
■排気：圧力 -80Kpa以上、流量 6L/min以上
■LAN：RJ-45コネクター
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ自動検査装置『BMWシリーズ』
取扱企業自動検査装置『BMWシリーズ』
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株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/
■半導体ウェーハ検査装置・測定装置の販売
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