半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラインナップ
当社は、クリーンテクノロジーを中心とした
洗浄技術・清浄技術・計測技術を核とする製品を提供しております。
半導体、FPD、乾燥炉、真空、精密洗浄、その他装置まで
各種製造装置を取り扱っています。
5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置、CF用処理装置、真空乾燥装置
R to R熱処理連続乾燥炉、精密部品洗浄装置、エアーシャワー等
幅広くラインナップしています。
また、空中搬送洗浄装置や非接触搬送洗浄装置も新たに加わりました。
【各種製造装置】
■半導体
■FPD
■乾燥炉
■真空
■精密洗浄
■その他装置
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報各種製造装置
【半導体装置】
■Ф300mmカセットレス（50枚搬送）
■5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置
■有機洗浄装置
■Siナゲット洗浄装置
■GaAsエッチング装置
■マランゴニドライ洗浄装置
■自動カセットオーブン
■ウェハ移載装置
■石英管洗浄装置
■石英管保管庫
■スピンドライヤ
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
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