コンパクトな小口径薄物ウェハ用移載装置
『Sicホルダー移載機』は、横型酸化/拡散炉用のウェハーボートから
プロセスカセットへの移し替え装置です。
受注後3ヶ月と立上調整3日でご提供いたします。
ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。
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基本情報ウェハ用移載装置『Sicホルダー移載機』
【仕様】
■ウェハスペック：5インチ 210～600μm
■カセット：50枚 ピッチ：2.38mm PFA
■カセットチャージ：4カセット/8カセット
■ホルダー：200～220スロット ピッチ：2.38mm
■チャージ数：200枚
■スループット：15分/200枚
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カタログウェハ用移載装置『Sicホルダー移載機』
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