日本エム・ケー・エス株式会社 高温デジタルキャパシタンスマノメーター『DA03A』
- 最終更新日：2023-08-04 17:29:02.0
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高温動作によりゼロ点シフトを低減、CVD, Etch, ALDに！
「DA03A」は、RoHS対応のデジタル高温タイプBaratron（R）キャパシタンスマノメータです。
高温で動作することによりセンサ内部へのプロセス副生成物の堆積を最小限に抑えます。
これにより副生成物堆積によって生じる出力ドリフトをほぼ無くします。
150℃または160℃の動作温度で使用でき、メタルエッチングや絶縁膜CVDのような半導体製造における最も必要とされかつ環境の厳しい真空プロセスでの使用が可能です。
【特長】
■150℃、160℃高温動作可能
■オールlnconelのキャパシタンスセンサ
■コンパクト設計による省スペース
■ガス種によらない安定性能
■EU用RoHS適合
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高温デジタルキャパシタンスマノメーター『DA03A』
【仕様】
■内部容量：6.3cm3
■応答時間：50msec
■ウォームアップ時間：4時間以下
■動作温度範囲：15～50℃
■過圧限界：45psia
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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カタログ高温デジタルキャパシタンスマノメーター『DA03A』
取扱企業高温デジタルキャパシタンスマノメーター『DA03A』
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半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。 真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。
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