有限会社テクノ・シナジー 光学膜厚測定システム『DF-1045R1』
- 最終更新日:2018-08-02 15:47:53.0
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多層膜解析などの様々な膜解析アプリケーションに対応!
光学膜厚測定システム『DF-1045R1』は、反射率スペクトル測定光学系と
スペクトル解析ソフトウエアの連携により、薄膜の膜厚・光学定数を
簡便に測定することができる分光システムです。
小型CCD分光器の採用により、省スペース、高速スペクトル測定を実現しました。
柔軟で高機能なスペクトル解析ソフトウエアSCOUTを搭載しているため、
多層膜解析などの様々な膜解析アプリケーションに対応します。
【特長】
■反射率スペクトル測定機能をデスクトップサイズに凝縮
■平行光束による入射角0°の反射率スペクトル測定を実現
■スペクトル解析ソフトウエアSCOUTによる単層膜、
多層膜の膜厚・屈折率測定など様々な膜解析に対応
■反射率スペクトル測定からフィッティング解析までのシークエンスを簡単操作
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報光学膜厚測定システム『DF-1045R1』
【動作環境】
■電源:AC100V±10%、50/60Hz
■消費電力:最大 100W(測定解析用PCの消費電力は別途)
■使用環境:温度 15~30°C、湿度 70%以下(結露しないこと)
■寸法
・ステージ:250(W)×250(D)×350(H)mm 光ファイバーおよび突起部は除く
・CCD分光器:89 (W)×64(D)×32(H)mm 突起部は除く
・ハロゲン光源:62(W) ×150(D)×60(H)mm 突起部は除く
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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