小形、軽量化を実現！耐食性・気密性に優れた半導体産業用の圧力トランスミッタ
『ZT11』は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路で、
圧力を電気信号に変換し、伝送する半導体産業用の圧力トランスミッタです。
SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、
長期安定性、信頼性に優れています。
これまでの圧力トランスミッタに対し、小形、軽量化(当社比)を実現、
EP・GPグレ－ドを標準とし、オプションとしてUCグレ－ドにも対応します。
【特長】
■小形、軽量化を実現
■SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接
■Co-Ni系合金はオプション対応可能(UCグレード)
■IP67の防塵/防水性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報圧力トランスミッタ『ZT11』
【仕様(抜粋)】
■測定流体
・各種半導体プロセスガス
■継手形状
・T形、S形
■接続ネジ
・1/4 VCR対応、1/2 (3/8) VCR対応、1/4 UJR
■内容積
・約0.9cm3 (S形：1/4 UJRの場合、継手形状により異なる)
■圧力センサシール方法
・溶接式
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|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ圧力トランスミッタ『ZT11』
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