サブミクロンレベルの欠陥(傷・異物)の自動マッピングします
当社が取り扱っております、自動外観検査装置とは、
フィルム・ガラスなど多種の材料欠陥検査を行う装置です。
傷、異物、ピンホールなど多種類の欠陥を検出可能です。
検出した欠陥はマッピングされ、その位置をマウスでクリックするだけで、
顕微鏡画像の観察ができます。
目視で行っていたロールフィルム末端検査にも対応致します。
【特長】
■自動マッピングを行い、サブミクロンレベルの傷・異物の位置情報を取得
■マッピングデータの位置情報により、改めて各傷・異物の詳細検査を行う
■透過・反射、明・暗視野さらに偏光、微分干渉観察など多彩な検査が可能
■今まで検査困難な欠陥に対しても、多数の検査実績あり
■目視検査で難しかった、欠陥・ムラを可視化し、簡易検査を実現
(ムラ・ビュアー)
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基本情報自動外観検査装置
【検査対象例】
■インラインで問題となった欠陥の詳細の検査
■インライン検査で対応できない欠陥の検査
■今まで目視検査していた欠陥の検査
■薄膜のピンホール、線傷の検査
■透明電極パターン検査・測長
■Si・サファイア・ウェハの傷・異物検査、外周検査
■結晶成膜面の異常検査
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