徹底したクリーン化性能、信頼性設計！45nmクリーンテクノロジー
『TAS300 Type-4E』は、徹底した装置クリーン化設計と配線・配管部の
稼動時非接触を実現したFOUPロードポートです。
微小なバーティクル発生を極限まで抑制。PWP試験において
世界最高レベルとなっております。
またFOUPごとの微差(公差)に対応する独自機構が、FOUPとロードポート
の衝突を防ぎ、確実なラッチキー挿入で、高い互換性をも実現します。
【特長】
■業界最高レベルのクリーン度を実現
■高い互換性 各社FOUPに対応
■メンテナンス性を向上
■高信頼性・高耐久
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基本情報FOUPロードポート『TAS300 Type-4E』
【仕様】
■対象FOUP
・300mmFOUP(ウエハ25枚用)
・SEMI E47.1、E62準拠品
■FOUPクランプ
・キネマティックピン位置決メ
・Front Retaining Featureを使用(エア駆動)
■FOUPドア固定：真空吸着 など
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
カタログFOUPロードポート『TAS300 Type-4E』
取扱企業FOUPロードポート『TAS300 Type-4E』
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【主力製品】 ■ェライトコア ■コイル ■トランス ■セラミックコンデンサ ■センサ など
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