リスクアセスメントおよびリスク評価プロセスのための安全ガイドラインをご紹介
『SEMI S10』の目的は一貫した実践的な方法で危険源の同定、
リスクの見積り、リスク評価を実行するためのリスクアセスメントの
一般原則を確立することにあります。
また、「SEMI S10」を使用することにより、リスクの度合いを決定し、
そのリスクを制御するための方策を開発するための手助けとなります。
【リスクアセスメントの一例】
■ウェハ搬送機メーカーにおいてリスクアセスメントを実施
■ウェハ搬送機内に置いて、ロボットによる押しつぶしの危険源を同定、
リスクランク2Cと見積もった
■リスク低減策としてSEMI S2を参照し、ドアインターロック機能を追加
■リスクランク“none”として終了
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基本情報SEMI S10：リスク評価プロセスのための安全ガイドライン
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カタログSEMI S10：リスク評価プロセスのための安全ガイドライン
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