MPI Corporation TS2000-SE-200mmオートプローバー
- 最終更新日：2019-02-12 14:39:12.0
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デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した200mmオート・プローバー。
日本における代理店:
ベクターセミコン株式会社
東京都荒川区西日暮里2-43-2
TEL 03-5604-1701
FAX 03-5604-1707
基本情報TS2000-SE-200mmオートプローバー
オンウェハーの多様なアプリケーションに対応
・デバイスモデリング: DC-IV, DC-CV, パルスドIV
・RFおよびミリ波 : 26～110 GHz帯/110 GHz以上
・WLR: 高温/低温/ストレス試験
・故障解析: プローブ・カード/内部ノードテスト
MPI独自ShielDEnvironmentチャンバー
・優れたEMI/RFIシールド、遮光環境により理想的な1/fノイズ測定結果を導き出します
・fAレベルの微小電流測定が可能
・広温度範囲(60℃～300℃)対応
人間工学に基づいた設計 / オプション
・ウェハーを簡単に前面よりロード可能。自動測定用の側部よりのローダー(プリアライメント)
・Vertical Control Environment (VCE) 技術によりプローブ先端を側面から観察することが可能になり、安全なオペレーションが可能
・一体型アクティブ防振機構
・Safety Test Management (STM)機能によりすべての温度においてウェハーのロード/アンロードを可能に、また露点を自動制御(オプション)
| 価格情報 | 別途お問合せください |
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| 納期 |
お問い合わせください
※別途お問合せください |
| 型番・ブランド名 | TS2000-SE |
| 用途／実績例 | 8インチ(200mm)高性能オート・プローバー |
詳細情報TS2000-SE-200mmオートプローバー
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ShielDCap(DCポジショナ)
ShielDEnvironmentは、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。
DC/ケルビンポートを最大8ポートまで搭載可能。
ShielDCapは簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。
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ShildCap(RFポジショナ)
ShielDEnvironmentは、RF4ポートまで搭載可能です。
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シングル・ウェハー・ローダー
高/低温時のウェハー交換が可能に
安全設計されたプリアライメント機能付きシングル・ウェハー・ローダーによりどの温度でもウェハーをロード/アンロードすることが可能となりました。常温まで温度を上げたり下げたりする必要がなくなりました。これにより測定ダウンタイムを大幅に省くことが可能です。
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ERS社AC３冷却技術を採用
温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30～50％も削減することが可能となりました。
カタログTS2000-SE-200mmオートプローバー
取扱企業TS2000-SE-200mmオートプローバー
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MPI Corporationは1995年設立以来、短期間で$160Mの売上を達成 4つの事業部から編制 - Probe Card Technologies - Photonics Automation - Advanced Semiconductor Test (AST) - Thermal Test 企業理念 優れた事業運営– 高品質、納期厳守 優れた製造経験 – 24/7 運用を満足する製品品質 お客様中心主義 – 妥協なしで高い付加価値の提供
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