ガス循環精製装置『グローブボックス』東京高圧山崎

精製装置出口の不純物ガスが低濃度！水分1ppm.vol.以下で酸素0.1ppm.vol.以下

『グローブボックス』は、ご要求により多様な設計製作が可能な
ガス循環精製装置です。

雰囲気ガスとして主に空気、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガス
などを使用される場合のグローブボックス。グローブボックス内の
雰囲気ガスの置換方式は大気圧置換、真空置換などを採用しています。

【特長】
■ガス循環方式は摺胴部動部の無いブロワーを採用しているため
　低騒音・長寿命
■空冷式のため冷却水が不要
■装置内の配管及び各種弁はSUS材を使用
■空圧弁及び手動弁はベローズ式またはダイアフラム式を
　採用しているため精製ガス純度が高い

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関連リンク - https://www.tokyo-koatsu.com/products/equipments/

基本情報ガス循環精製装置『グローブボックス』

【その他の特長】
■タッチパネル方式のため操作は簡単
■シーケンサ内蔵で他の装置との信号のやり取りも可能
■精製ガス純度・露点・酸素濃度のトレンドグラフの表示と
　ロギングが可能
■グローブボックスは、Heリークディレクターを用いたスニファー法
　漏洩試験を行っているため低リーク　など

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