テクノウェーブ株式会社 卓上型蒸着装置『Meius Light』
- 最終更新日：2019-03-07 15:19:34.0
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学生向けの実験や教材作りに！卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置
『Meius Light』は、一般家庭のAC100V壁コンセントから
導入が可能な卓上蒸着装置です。
チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを搭載可能。
【特長】
■卓上で簡単に使えるコンパクトサイズ
■蒸発源はタングステンボート2個搭載
■マグネット駆動式基板シャッタ装備
■非常停止スイッチ装備
■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組合わせ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報卓上型蒸着装置『Meius Light』
【仕様（一部）】
■基板サイズ：50mm 1枚（多種サイズの設計対応可能）
■蒸発源：抵抗加熱方式・切り替え式・AC10V 100A
■重量：約18kg（卓上チャンバのみ 制御BOXは除く）
■チャンバベント：導入圧力0.02Mpa以下（大気解放）
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| 用途／実績例 | 【用途】 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ卓上型蒸着装置『Meius Light』
取扱企業卓上型蒸着装置『Meius Light』
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■真空応用関連装置・その他産業機器の設計(制御系の設計)／製作 ならびに組立調整真空関連機器および部品製作／組立／検査等
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