簡便・確実にウエハ裏面に接する部位の微小異物を捕集できるウエハ
当社では、半導体製造装置のロボットアームやチャックテーブルに
付着した異物を捕集するウエハ状クリーニング材『クリーニングウエハ 』を
取り扱っております。
クリーニング層面を下側にして、ウエハカセットにセットし、
装置内を自動搬送するだけでトラブルの原因となる微小異物を
捕集できるので、装置稼働率が大幅に向上します。
【特長】
■ダミーウエハの片面に異物捕集性と自動搬送性とを兼備えた
クリーニング層を装備
■真空チャンバの異物によるトラブルの解消では、
従来法と比べ大幅な時間短縮が期待可能
■従来の人手によるクリーニングに比べ、
簡便で頻度・確度・対応性にすぐれる など
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基本情報ウエハ吸着テーブル用クリーニング材『クリーニングウエハ 』
【用途】
■半導体前工程のプロセス装置、特に真空チャンバでの異物トラブルの多いプロセス
■半導体中工程のプロセス装置全般
■手作業ではクリーニング困難な狭小なステージを持つ装置
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カタログウエハ吸着テーブル用クリーニング材『クリーニングウエハ 』
取扱企業ウエハ吸着テーブル用クリーニング材『クリーニングウエハ 』
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【事業領域】 ■自動車・他輸送機器 ■住宅・住宅設備 ■社会インフラ ■素材 ■家電・電子機器 ■ディスプレイ ■電子デバイス ■医療 ■包装材料 ■消費財
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