ShielDEnvironmentマニュアルシステムベクターセミコン

-60～300℃の温度範囲で低ノイズ、低リーク測定が可能！

ShielDEnvironmentマニュアルシステム『TS200-SE』は、EMI対策、
RFI対策、遮光に優れた設計がされており、様々な測定に対応した
高低温温調対応機種です。

温調システムとの組み合わせで、最大範囲-6～300℃の温度範囲で
低ノイズ、低リーク測定が可能です。

【特長】
■「TS200-SE」
　・最大8インチウェハ対応
　・低ノイズ、低リーク測定が可能
■「TS300-SE」
　・最大12インチウェハ対応
　・様々な測定やセッティングに対応可能な広いプラテン
　・操作性に優れたXYステージコントロール（ロック機能付）
　・大型ながら容易な操作が可能　

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。