ベクターセミコン株式会社 プローバー『フルオートシステム』

高い測定精度とオートメーション機能搭載!正確な校正が可能なプローバー

当社では、『フルオートシステム』を取り扱っています。

「TS2500-RF」は、オンウェハRF測定のために設計された
新型フルオートプローブシステムです。

最大200mmサイズウェハに対応しており、室温から最大300℃の温度範囲で
低ノイズ、低リーク測定が可能です。

この他に、12インチウェハ対応の「TS3500/TS3500-SE」もご用意しております。

【特長】
<TS2500-RF>
■67GHzまでのプローブを4port搭載可能
■DC-IV/DC-CV/Pulsed-IVなど様々な測定にも対応
■最小50umまでのウェハを取り扱うことが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報プローバー『フルオートシステム』

【特長】
<TS3500/TS3500-SE>
■人間工学的なローディングのための5つの個別トレイで設計
■MPIのウェーハウォレット測定機能を損なうことなく、
 「TS3500」シリーズのオートメーションを拡張
■異なる温度で5枚までの同一ウェーハを用いた全自動テストが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■オンウェハRF測定

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カタログプローバー『フルオートシステム』

取扱企業プローバー『フルオートシステム』

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ベクターセミコン株式会社

■半導体、液晶パネル業界向けの  研究開発用に特化したプローバーの製造、販売、サービス

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