8インチタイコウェハ対応！透過式マッピングセンサ搭載マクロミクロ検査装置
『SYAR120』は、卓上型ロボットとアライナ、マクロユニットを組み込んだ
8インチタイコウェハ対応顕微鏡マクロミクロ検査装置です。
所定のウェハをカセットから抜き取った後、マクロユニットへ搬送し、
表裏面を観察します。
ジョイスティックにより任意な座標制御が可能。
帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。
【特長】
■アライナでセンタリングとオリフラ位置決め後に顕微鏡XYステージに供給
■透過式マッピングセンサ搭載
■ジョイスティックにより任意な座標制御可能
■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備
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基本情報卓上型マクロミクロ検査装置『SYAR120』
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■LED/MEMS/パワーデバイス分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ卓上型マクロミクロ検査装置『SYAR120』
取扱企業卓上型マクロミクロ検査装置『SYAR120』
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