第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット
『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の
直動式ダブルアームクリーンロボットです。
アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。
基板裏面を真空吸着します。
アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。
【特長】
■RS232Cによる専用コマンド制御
■各種センサ装備
■基板保持：基板裏面を真空吸着
■アーム：ステッピングモータ仕様旋回
■上下軸：サーボモータ仕様
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報直動式ダブルアームクリーンロボット『HR71000-1500』
【仕様】
■アーム
・動作範囲：1000mm
・搬送速度：1000mm/1.2sec
・分解能：10.2539μm
■旋回
・動作範囲：280度
・搬送速度：180度/2.5sec
・分解能：0.001度以下
■上下
・動作範囲：1500mm
・搬送速度：1500mm/2.5sec
・分解能：0.1mm以下
■被搬送物：24インチ 厚さ1.1mmガラス基板
■繰返し精度：±0.1mm 以内
■クリーン度：ISOクラス2
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■FPD分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ直動式ダブルアームクリーンロボット『HR71000-1500』
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