ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能!リンク式クリーンロボット
『PR1111-200』は、全軸2Pステッピングモータ仕様の
リンク式シングルアームクリーンロボットです。
ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。
回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを
装備しています。
【特長】
■全軸2Pステッピングモータ仕様
■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、
180度位置センサを装備
■チャック:アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』
【仕様】
■アーム
・動作範囲:354mm
・搬送速度:354mm/0.8sec
・分解能:21.6μm以下
■旋回
・動作範囲:330度
・搬送速度:180度/0.8sec
・分解能:0.00556度
■上下
・動作範囲:200mm
・搬送速度:200mm/0.8sec
・分解能:5μm
■ハンド反転
・動作範囲:180度
・搬送速度:180度/1.2sec
・分解能:0.05625度
■被搬送物:5、6、8インチ シリコンウェハ
■繰返し精度:±0.1mm 以内
■クリーン度:ISO クラス2
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■半導体分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログリンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』
取扱企業リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』
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