従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現!
『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した
シングルアームクリーンロボットです。
従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。
アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。
【特長】
■エンコーダ付2相パルスモータ装備
■RS232C通信制御
■パラレルI/O制御
■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用
■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報真空対応シングルアームクリーンロボット『SV1240』
【仕様】
■アーム
・動作範囲:718mm
・搬送速度:718mm/1.5sec
・分解能:0.0044mm以下
■旋回
・動作範囲:330度
・搬送速度:180度/2.0sec
・分解能:0.00417度
■上下
・動作範囲:20mm
・搬送速度:20mm/1.0sec
・分解能:0.000625mm
■被搬送物:□190mm 厚さ3mm アルミトレー
■繰返し精度:±0.1mm 以内
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■半導体分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ真空対応シングルアームクリーンロボット『SV1240』
取扱企業真空対応シングルアームクリーンロボット『SV1240』
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