分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。
気体用マスフローコントローラ MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。
ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。
【特長】
○ラバーシール採用により低価格での提供を実現
○流量精度は±1.0%F.S.を保証
○幅広い流量レンジに対応
○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能
（ガス種、F.S.、流量を変更可能）
○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。
基本情報低価格マスフローコントローラ MC-10RC series
○RoHS対応
○高速応答 1sec以内
○短納期対応モデル
○高精度（±1％F.S.）モデル
○ラバーシール採用の低コストモデル
○RS-485デジタル通信やマルチレンジ機能を搭載（オプション）
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
| 納期 | ~ 1週間 |
| 型番・ブランド名 | MC-10RC series |
| 用途／実績例 | 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| MC-10RC | |
| MC-11RC |
カタログ低価格マスフローコントローラ MC-10RC series
取扱企業低価格マスフローコントローラ MC-10RC series
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気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作
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