株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパン インラインコーティングシステム（スパッタ）
- 最終更新日：2022-11-07 16:54:35.0
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高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能！大量生産に適したインライン式スパッタ装置
当社の『インラインコーティングシステム（スパッタ）』をご紹介します。
大量生産に適したインライン式スパッタ装置。
高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能です。
金属膜をはじめ、セラミック膜、フラットパネルディスプレーなどに
お使いいただけます。
【特長】
■最大基板サイズ：<3m(L) x 1.5m(H)
■均一性：±5％以内
■90°垂直搬送システム
■チャンバー数を任意に選定可能
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報インラインコーティングシステム（スパッタ）
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■金属膜 ■セラミック膜 ■フラットパネルディスプレー ■ソーラーパネル ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業インラインコーティングシステム（スパッタ）
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株式会社ナノフィルム テクノロジーズジャパンは、シンガポールに本社をおく、 ナノフィルム テクノロジーズインターナショナル社（NTI）の日本法人です。 本社社長のDr.Shiは、1999年にFCVA方式（*1）の商業化に成功しNTI社を設立、 新しい真空成膜技術による、スーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）、Micc膜、各種金属膜を提供しています。
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