8インチウェハ対応！ウェハ中央部に接触することなく搬送できる装置をご紹介
当製品は、スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を
追加できる装置です。
エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能。
2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできます。
また、測定機システムを上位として、連携させることが可能です。
【特長】
■8インチウェハ対応
■スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を追加できる
■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能
■2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできる
■測定機システムを上位として、連携させることが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報各種装置用ウェハローダー
【装備】
■ダブルアームロボット
■アライナ
■反転ユニット
■反り対応ウエハマッピング機構
■制御機器(基本移載ソフト含む)
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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