幅広いプロセスや用途に対応！中古装置のリファブに好適です
当社では、RoHS指令・CEマーキング対応の、株式会社堀場エステック製
マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』を取り扱っております。
接ガス部はメタル仕様となっており、ピエゾバルブも搭載。
また、SEC-7300・4400シリーズの継手サイズ・ピン配列との
互換を確保しています。
【特長】
■リプレイス・アップグレード
■高性能・高信頼性
■フレキシビリティ
■RoHS指令・CEマーキング対応
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基本情報マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』
【仕様】
■バルブ型式(SEC)：非通電時 閉(クローズ)C/開(オープン)O
■コントロールバルブ全閉時流量(SEC)：フルスケールの2％未満
■流量制御範囲(SEC)：フルスケールの2～100％
■流量測定範囲(SEF)：フルスケールの0～100％
■流量精度：±1.0％F.S
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
カタログマスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』
取扱企業マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』
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■半導体製造の中古装置の提供 修理、立上げ、保障、アフターケアと充実なサポート体制 ■付帯設備の中古製品の提供 ドライポンプ、クライオポンプ、チラー、電源製品など ■幅広い用途の石英・シリコン製品のパーツの取り扱い
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