FOUPロードポート『TAS450』 TDK | イプロスものづくり

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構造です

『TAS450』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて
使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための
標準ロードポートです。

半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、
最高クラスの性能を有しています。

【特長】
■SEMI Standard E154
■可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、
　パーティクル性能を向上させた構造
■マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能
■FOUP ドック時の障害物検出機能を搭載
■FOUP 在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.tdk.co.jp/index2.htm

基本情報FOUPロードポート『TAS450』

【仕様(抜粋)】
■対象FOUP
・SEMI-E158 及び E154 に準拠する450mmFOUP
■外形寸法・重量
・全高：1437mm
・全幅：630mm
・奥行：573mm（BOLTS インターフェース面より）
・重量：115kg（マッパー以外の各種オプションを含まず）
■ドッキングメカニズム
・FOUP クランプ：Hold Down Feature（エア駆動）
・FOUP ドア保持：真空吸着
・ドッキング時のウエハ位置：BOLTS インターフェース面より254mm

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