株式会社コーヨーテクノス 半導体検査治具『プローブカード』
- 最終更新日:2020-02-14 17:24:33.0
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最小ピッチ30μmマトリクスの実績!狭ピッチプローブ設定が可能な半導体検査治具
『プローブカード』は、半導体検査工程でLSI(半導体集積回路)製造の
ウエハーテスト工程で、シリコンウエハー上に形成されたLSIチップの
電気的検査に用いる治具です。
ワイヤープローブを使用することでプローブを垂直に立てることが可能。
より自由なプローブ配置が行えます。
また、垂直に検査対象物と接触することで、従来型のカンチレバー
タイプのプローブに比べ検査キズ(打痕)の大幅な改善が期待できます。
【特長】
■垂直コンタクト
■ピン間ピッチ
■多ピン設定、多面同測
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基本情報半導体検査治具『プローブカード』
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