バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現!面内バラツキ無く仕上がります
株式会社フジ機工の取り扱う、パターン形成用のエッチング装置を
ご紹介します。
バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現し、
ほぼ面内バラツキ無く仕上がります。
また、微細な半導体パッケージ基板から厚銅基板まで対応できます。
【特長】
■枚葉基板からRoll to Rollによるフレキシブル基板まで対応
■微細な半導体パッケージ基板から厚銅基板まで対応
■バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現
■ほぼ面内バラツキ無く仕上がる
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基本情報半導体・プリント基板水平製造装置 エッチング装置(パターン形成)
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