フッ素系溶媒用チラー　M-75HFE エムエス機器

高い温度安定性と応答性のフッ素系溶液用チラー

フッ素系溶媒（フロリナート、ノベック、ガルデン、オプテオン）は、絶縁性が高いため、電食を防止する効果が非常に高く、装置のメンテナンスを容易に行うことが可能です。
また、不燃性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。
（フッ素系溶媒の特徴）
　・電気絶縁性が高い
　・熱伝導性が高い
　・熱的安定性が高い
　・化学的安定性が高く不活性
　・毒性が低く、不燃性のため安全性が高い

関連リンク - https://www.technosaurus.co.jp/products/m-75-hfe

基本情報フッ素系溶媒用チラー　M-75HFE

＜特徴＞
・Fluorinert（FC-3283）、Novec（HFE-7100、HFE-7200）
　Galden （HT-200）、オプテオン（SF10）などのフッ素系溶媒に対応
・タンク容量がわずか1.9Lなので、高価な液体の使用量が抑えられる
・密閉構造で高価な液体が蒸発しにくい
・吐出圧が0.4MPa以上の高揚程ポンプを採用
・設定温度が-15℃～+35℃なので、低温にも対応
・ホットガスバイパス方式採用による高い温度安定性と応答性
・CE、UL、KC-Mark対応

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用途／実績例	＜アプリケーション＞・ドライエッチング・テスター・ステッパー・電磁石・電子ビーム・レーザー装置