簡単で親切なタッチ画面操作！上位システムからの遠隔操作が可能な自動圧力制御コントローラ
『MGCS-11』は、静寂なバルブ動作で安定した制御性を実現した
自動圧力制御コントローラです。
オートチューニングによりPIDパラメータは自動的に素早く最適化。
簡単で親切なタッチ画面操作と上位システムからの遠隔操作が可能です。
成膜、エッチングをはじめとする電子デバイス製造プロセスや真空乾燥、
脱気プロセスの定圧コントロールに適しています。
【特長】
■電源投入で自動原点復帰
■操作はタッチパネル、I/O、RS-232C シリアル通信に対応
■UPS(無停電電源装置)の接続可能(停電時バルブクローズ)
■現在圧力の他にコントロールバルブ開度の簡易表示
■設定圧力の±0.1％の制御精度
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報自動圧力制御コントローラ『MGCS-11』
【仕様(抜粋)】
■圧力コントロール範囲：0.1〜10^5 Pa
■コントロールバルブ：GAR/BAR
■表示：モノクロ液晶4インチ
■操作：タッチパネル
■シリアル通信：RS-232C
■寸法(W×D×H)：241mm×344mm×143.5mm
■質量：4kg
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■電子デバイス製造プロセス、真空乾燥 ■脱気プロセスの定圧コントロール ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ自動圧力制御コントローラ『MGCS-11』
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