ユーザカスタマイズ可能！レーザ顕微鏡の光学系を使用した新しい検査装置
当製品は、顕微鏡でもCCDカメラでもない第3の観察、検査装置です。
レーザラスター走査なので顕微鏡に比べ100倍以上の大きい視野を持っており、
長い画像（Yステージ移動）を撮り走査幅に応じてX軸を移動させると
さらに広範囲な画像を取り込めます。
また、この他に、円筒面への描画や通常の平面基板への描画ができる
「テレセンfθ型レーザ直接描画装置」と描画用光学ユニット「LSU」も
取り扱っています。
【超広視野共焦点レーザ走査イメージャ検査装置 特長】
■光学顕微鏡では見にくい透明フィルムやセラミックスなどの画像取得が可能
■レーザラスター走査なので顕微鏡に比べ100倍以上の大きい視野を持つ
■長い画像（Yステージ移動）を撮り走査幅に応じてX軸を移動させると
さらに広範囲な画像を取り込める
■走査レンズは特注仕様も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報超広視野共焦点レーザ走査イメージャ検査装置
【テレセンfθ型レーザ直接描画装置とLSU 特長】
■円筒面への描画や通常の平面基板への描画が可能
■「LSU」はコンパクト設計のため、省スペースに設置できる
■多品種小ロット用の用途に加え、テストベンチなどに使用可能
■「LSU」を接続することが可能なため、大きな領域をカバーすることができる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出 ■サファイヤウエハの欠陥検査 ■セラミックなどの微小クラック欠陥検出 ■蒸着膜の剥離などの観察 ■樹脂凸版の異物、文字カケ検査 ■小径レンズ、小型金型の非接触形状測定 ■その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ超広視野共焦点レーザ走査イメージャ検査装置
取扱企業超広視野共焦点レーザ走査イメージャ検査装置
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