東芝ライテック株式会社 高出力エキシマUV照射ユニット
- 最終更新日：2020-07-21 15:26:19.0
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新規開発のランプ・ユニット設計により従来比6倍以上の高照度エキシマランプを実現！
『高出力エキシマUV照射ユニット』は、ランプ表面照度300ｍW/cm2以上の
強力な真空紫外光（172nm）により、タクトタイム短縮に貢献する
産業用光源です。
ランプ本数が少なく、省スペース化に役立ちます。
また、点滅点灯で消費電力を最小限に抑えることが可能です。
【特長】
■タクトタイム短縮に貢献
■点滅点灯で消費電力を最小限に抑制
■単一波長のため、ワークの低温処理が可能
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報高出力エキシマUV照射ユニット
【仕様】
■波長：172nm
■照度：300mW/cm2以上（照射距離0ｍｍ）
■軸方向均斉度：±10％以下
■寿命：2,000Hr（照度維持率70％以上、100Hrを100％と定義）
■有効発光長：120～1,540ｍｍ
■冷却：水冷
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体、液晶基板のドライ洗浄、アッシング ゴムローラ、シリコンシート等の表面改質 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ高出力エキシマUV照射ユニット
取扱企業高出力エキシマUV照射ユニット
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【取扱製品】 ■車載用光源・産業用光源
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